Julian Schuhmacher, Marco Ballarin, et al.
PRX Quantum
No abstract available.
Julian Schuhmacher, Marco Ballarin, et al.
PRX Quantum
John A. Hoffnagle, William D. Hinsberg, et al.
Microlithography 2003
Robert F. Gordon, Edward A. MacNair, et al.
WSC 1985
A. Skumanich
SPIE OE/LASE 1992